Нормативы качества для электронной промышленности

Деионизированная вода применяется в электронном приборостроении, энергетике, при выращивании кристаллов, производстве печатных плат.

В микроэлектронике используется деионизированная (деионизованная) вода трёх классов чистоты: очищенная вода, также известный как класс «В» — вода, получаемая из исходной путём предварительной подготовки и деионизации на установках централизованной очистки воды; чистая вода (класс «Б») — вода, получаемая из очищенной воды путём финишной деионизации и очистки от бактериальных и микрочастиц размером 0,2 мкм; класс ультрачистая вода (класс «А») — вода высшей степени чистоты, получаемая путём финишной деионизации с применением систем стериализации, микрофильтрации, ультрафильтрации и обратного осмоса.


Требования к качеству воды для электронной промышленности


См. также таблицу определения качества воды.